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2,713 filings, as of September 19, 2026
양면냉각 압력 균일화 포스트 어레이를구비하는 전력반도체 모듈 기판, 전력반도체 모듈 및 그 제조방법
10-2026-0122064 July 3, 2026
자성부품 내장형 부하 인접 전력변환 셀을 구비하는 반응소결 탄화규소 방열 기판, 전력반도체 모듈 및 그 제조방법
10-2026-0122066 July 3, 2026
고전압 노드와 전위 동조되는 부동 열확산 핑거를 구비하는 전력반도체 방열 기판, 전력반도체 모듈 및 그 제조방법
10-2026-0122067 July 3, 2026
냉각채널 압력맥동 및 수격 충격 완충구조를 구비하는 전력반도체 방열 기판,전력반도체 모듈 및 그 냉각매체 압력관리 방법
10-2026-0122053 July 3, 2026
도전성 반응소결 탄화규소를 감지 경로로 이용하는 스마트 전력반도체 콜드플레이트 및 그 상태 진단 방법
10-2026-0122069 July 3, 2026
전계-열 분리형 절연 인레이를 구비하는전력반도체 방열 기판 및 그 제조방법
10-2026-0122070 July 3, 2026
병렬 직접냉각채널의 유량 편차 감지 및자가균등화 매니폴드를 구비하는 전력반도체 방열 기판, 전력반도체 모듈 및그 냉각매체 유량 관리 방법
10-2026-0122055 July 3, 2026
냉각매체 이온 오염 감지 및 이온 포집정화 구조를 구비하는 전력반도체 방열기판, 전력반도체 모듈 및 그 냉각매체상태 관리 방법
10-2026-0122056 July 3, 2026
냉각채널 실링부의 이중 장벽 및 누설격리 배출 구조를 구비하는 전력반도체방열 기판, 전력반도체 모듈 및 그 냉각매체 누설 격리 방법
10-2026-0122052 July 3, 2026
환원종과 재산화 배리어 종단종을 분리한 하이브리드 본딩 구리 직접 접합 방법 및 그 구조체
10-2026-0122045 July 3, 2026
중앙 개방부를 통해 발광을 전방으로 축방출하는 환형 방전생성플라즈마 전극
10-2026-0122040 July 3, 2026
기계가공 없이 성형된 냉각채널을 가지는 세라믹 냉각 백본 및 이를 구비한 DPP 전극
10-2026-0122041 July 3, 2026
불소 함유 수소차단 경계를 가지는 방전생성플라즈마 전극
10-2026-0122042 July 3, 2026
기능 분리형 자기재생 냉각핑거 방전생성플라즈마 전극
10-2026-0122044 July 3, 2026
주석 유지구조에 의해 유지되는 자기재생 액체 주석 소모 구조를 가지는 방전생성플라즈마 전극
10-2026-0122043 July 3, 2026
서브밴드갭 광열 방출형 내재 수소종을이용한 하이브리드 본딩 구리 계면의인-시튜 산화막 환원 및 직접 접합 방법
10-2026-0122046 July 3, 2026
묻힌 구리 패드에 인접 내재화된 수소·중수소 리저버 층을 포함하는 하이브리드 본딩용 접합 전구 구조체, 직접 접합구조체 및 그 형성 방법
10-2026-0122047 July 3, 2026
접합 계면을 봉인한 후 인-시튜 환원에의하여 재산화를 차단하는 하이브리드본딩 구리 직접 접합 방법 및 그 구조체
10-2026-0122048 July 3, 2026
단일 가열 트리거에 의하여 수소종 방출·구리 산화막 환원·구리 확산 접합을 자기정렬적으로 동기화하는 하이브리드본딩 구리 직접 접합 방법 및 그 구조체
10-2026-0122049 July 3, 2026
서브밴드갭 투과창을 이용한 묻힌 금속계면의 무고압 수소 어닐 등가 처리 방법
10-2026-0122050 July 3, 2026
고체형 균질 실리콘카바이드 포커스링,에지링 및 플라즈마 처리장치용 소모부재와 그 제조 방법
10-2026-0121962 July 2, 2026
패드 하부 광열 변환층을 이용한 광집적회로의 수소 리저버 접합 구조 및 그 제조방법
10-2026-0122013 July 2, 2026
광집적회로 광활성 접합용 광열 변환층부재 및 그 형성방법
10-2026-0122012 July 2, 2026
보호대상 광소자 우회 광 경로를 이용한광집적회로의 광활성 접합 구조 및 그방법
10-2026-0122011 July 2, 2026
균질 실리콘카바이드 구조체 및 그 제조방법
10-2026-0121965 July 2, 2026
균질 실리콘카바이드 열제어 벽을 구비한 무증착 에피택시 반응기 및 이를 이용한 에피택시 방법
10-2026-0121964 July 2, 2026
균질 실리콘카바이드 샤워헤드 및 가스분배부재와 그 제조 방법
10-2026-0121963 July 2, 2026
와이드밴드갭 반도체 벌크 영역의 수소관련 결함을 국부 광열로 공간 제어하는전력반도체 구조 및 그 제조방법
10-2026-0121954 July 2, 2026
냉각채널이 일체로 형성된 균질 실리콘카바이드 반도체 챔버부품 및 그 제조방법
10-2026-0121961 July 2, 2026
반응가스 경계면의 석영 무사용 균질 실리콘카바이드 기반 에피택시 장비 아키텍처
10-2026-0121960 July 2, 2026
매립 계면의 국부 광열 활성화를 이용한전력반도체 계면 트랩 및 산소 공공 제어 구조 및 그 제조방법
10-2026-0121959 July 2, 2026
p형 질화갈륨 게이트의 마그네슘-수소결합 상태를 국부 광열로 제어하는 노멀리오프 질화갈륨계 전력반도체 구조 및그 제조방법
10-2026-0121957 July 2, 2026
수소알디엘 글라스인터포저 및 그 스퍼터리스 재배선층 형성방법
10-2026-0121952 July 2, 2026
실리콘-실리콘게르마늄 에피택셜 적층체의 광열-수소 후처리 컨디셔닝 방법및 컨디셔닝 모듈
10-2026-0122015 July 2, 2026
양성자 조사에 의한 수소 도입 영역으로라이프타임 및 필드스톱을 제어하는 전력반도체 구조 및 그 제조방법
10-2026-0121955 July 2, 2026
실리콘-실리콘게르마늄 에피택셜 적층체의 가장자리 미스핏 전위 억제를 위한환형 광열-수소 처리 방법 및 장치
10-2026-0122014 July 2, 2026
관통 비아홀이 형성된 글라스 기재의 비아 내벽 및 평활면에 수소 함유 계면층을 적용한 스퍼터리스 글라스인터포저및 그 형성방법
10-2026-0121947 July 2, 2026
고게르마늄 함량 유지형 실리콘-실리콘게르마늄 에피택셜 적층체의 결함성 응력완화 및 미스핏 전위 저감 방법
10-2026-0122017 July 2, 2026
방향 비대칭 열전달 경계에 의한 방전생성플라즈마 전극의 광학계 방향 열부하저감 열 관리 방법
10-2026-0122032 July 2, 2026
주석 비산물을 포획하고 포화 시 교체또는 재생되는 희생 비산물 차폐를 가지는 방전생성플라즈마 광원
10-2026-0122037 July 2, 2026
불소 처리 절연 측벽을 가지는 방전생성플라즈마 전극
10-2026-0122038 July 2, 2026
방향 비대칭 열전달 경계를 가지는 방전생성플라즈마 전극
10-2026-0122039 July 2, 2026
집광경 전단에서 수소 작용 영역과 집광경 보호 영역을 분리하는 방전생성플라즈마 광원
10-2026-0122036 July 2, 2026
방전생성플라즈마 전극의 순간열과 평균열을 분리하여 처리하는 열 관리 방법
10-2026-0122035 July 2, 2026
방전생성플라즈마 전극의 자기재생 액체금속막에 의한 순간열 흡수 및 표면재생 열 관리 방법
10-2026-0122033 July 2, 2026
방향 비대칭 열전달 경계를 구비한 방전생성플라즈마 전극, 이를 포함하는 광원및 그 열 관리 방법
10-2026-0122031 July 2, 2026
3차원 메모리용 실리콘/실리콘게르마늄적층체의 게르마늄 선택흡수 기반 수소자기치유 방법
10-2026-0122018 July 2, 2026
네트셰이프 냉각채널을 구비한 방전생성플라즈마 전극, 이를 포함하는 광원및 그 제조·열 관리 방법
10-2026-0122030 July 2, 2026
전극 모듈의 열한계 상향에 의해 중간초점 EUV 파워가 스케일링되는 방전생성플라즈마 EUV 광원 시스템 및 그 운전방법
10-2026-0122028 July 2, 2026
수소 또는 NHₓ계 환원성 리저버를 포함하는 구리 소결 접합재, 표면 코팅 구리입자 및 이를 이용한 접합 방법
10-2026-0122025 July 2, 2026