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2,713 filings, as of September 19, 2026
냉각채널 압력맥동 및 수격 충격 완충구조를 구비하는 전력반도체 방열 기판,전력반도체 모듈 및 그 냉각매체 압력관리 방법
10-2026-0122053 July 3, 2026
도전성 반응소결 탄화규소를 감지 경로로 이용하는 스마트 전력반도체 콜드플레이트 및 그 상태 진단 방법
10-2026-0122069 July 3, 2026
전계-열 분리형 절연 인레이를 구비하는전력반도체 방열 기판 및 그 제조방법
10-2026-0122070 July 3, 2026
병렬 직접냉각채널의 유량 편차 감지 및자가균등화 매니폴드를 구비하는 전력반도체 방열 기판, 전력반도체 모듈 및그 냉각매체 유량 관리 방법
10-2026-0122055 July 3, 2026
냉각매체 이온 오염 감지 및 이온 포집정화 구조를 구비하는 전력반도체 방열기판, 전력반도체 모듈 및 그 냉각매체상태 관리 방법
10-2026-0122056 July 3, 2026
냉각채널 실링부의 이중 장벽 및 누설격리 배출 구조를 구비하는 전력반도체방열 기판, 전력반도체 모듈 및 그 냉각매체 누설 격리 방법
10-2026-0122052 July 3, 2026
와이드밴드갭 반도체 벌크 영역의 수소관련 결함을 국부 광열로 공간 제어하는전력반도체 구조 및 그 제조방법
10-2026-0121954 July 2, 2026
매립 계면의 국부 광열 활성화를 이용한전력반도체 계면 트랩 및 산소 공공 제어 구조 및 그 제조방법
10-2026-0121959 July 2, 2026
p형 질화갈륨 게이트의 마그네슘-수소결합 상태를 국부 광열로 제어하는 노멀리오프 질화갈륨계 전력반도체 구조 및그 제조방법
10-2026-0121957 July 2, 2026
양성자 조사에 의한 수소 도입 영역으로라이프타임 및 필드스톱을 제어하는 전력반도체 구조 및 그 제조방법
10-2026-0121955 July 2, 2026
자기결합성 탄화규소 성형분말 및 이를이용한 벌크 바인더 무첨가 반응결합 탄화규소 정밀 성형체의 제조방법
10-2026-0112942 June 20, 2026
광 흡수 후 변태하는 인터레이어를 이용한 탄화규소 전력소자의 무열 후면 접합및 오믹 접촉 형성 방법, 그 구조 및 장치
10-2026-0112955 June 20, 2026
로봇 감속기용 금속 코어-반응결합 탄화규소 셸 일체형 기어 구조체 및 그 제조방법
10-2026-0112943 June 20, 2026
수직형 전력반도체 소자의 배면 드레인전극을 절연층 상의 재배선층을 통해 측방으로 인출하는 전력반도체 패키지 및그 제조방법
10-2026-0108079 June 14, 2026
탄화규소 전계효과 트랜지스터의 질소질화 게이트 유전체 계면 패시베이션 구조, 이를 포함하는 소자 및 그 형성 방법
10-2026-0108082 June 14, 2026
탄화규소 전계효과 트랜지스터의 불소-질소 복합 패시베이션 게이트 유전체 계면 구조, 이를 포함하는 소자 및 그 형성방법
10-2026-0108083 June 14, 2026
고열전도 세라믹 핸들 상의 박막화에 의해 열저항이 한정된 산화갈륨 전력반도체 소자의 제조방법
10-2026-0108073 June 14, 2026
반응소결 탄화규소의 잔류 자유 실리콘을 융착재로 이용한 절연 방열 접합체,전력반도체 기판 및 그 제조방법
10-2026-0108067 June 14, 2026
배면 오믹 선결에 따른 무열화 활성층과벌크기판 부재 수직 전류경로를 갖는 오믹-퍼스트 수직 전력반도체 소자
10-2026-0108072 June 14, 2026
성형 매립 및 반응소결 일체화에 의한무천공·무도금 구조지문을 갖는 도전성반응결합 탄화규소(RBSC) 핸들의 관통도전 비아
10-2026-0108071 June 14, 2026
도전성 코어 보드 상에 절연 인레이를개재하여 백사이드 드레인을 절연 및 방열하는 수직형 질화갈륨 소자 구조 및그 제조방법
10-2026-0108064 June 14, 2026
상부 및 하부 방열체가 측벽부를 통해전기적으로 일체화되어 공통 기준전위를 이루는 양면냉각 전력반도체 모듈 기판 및 그 제조방법
10-2026-0108065 June 14, 2026
포켓과 냉각채널이 직접 냉각 정렬로 일체 성형된 전력반도체용 반응소결 탄화규소 방열 구조체 및 그 제조방법
10-2026-0108066 June 14, 2026
전력반도체 박막 소자가 고방열 도전성마더보드에 모놀리식 일체화되어 패키지기판이 제거된 하향 열·전기 통합 전력 보드 및 그 제조방법
10-2026-0108068 June 14, 2026
자유 규소가 도전성 금속 규화물 퍼콜레이션 망으로 전환되어 자유 규소 면적분율이 1퍼센트 이하인 도전성 반응결합탄화규소 매트릭스의 미세조직
10-2026-0108070 June 14, 2026
표면 결합 탄소를 이용한 반응결합 탄화규소 소결체, 피복 탄화규소 분말 및 이들의 제조방법
10-2026-0108001 June 13, 2026
자유 규소를 도전성 규화물로 전환한 열팽창계수 정합형 반응결합 탄화규소 및그 제조방법
10-2026-0108036 June 13, 2026
텅스텐계 도전성 반응결합 탄화규소 핸들 및 그 제조방법
10-2026-0108038 June 13, 2026
관통 도전경로를 갖는 핸들 상의 단결정박막에 배면 전극을 선결 형성하는 수직형 전력반도체 소자의 제조방법
10-2026-0108037 June 13, 2026
일체형 탄화규소 소결체 몸체와 박막 봉지층을 포함하는 플라즈마 처리장치용하이브리드 부품, 그 제조방법, 재생방법및 운용방법
10-2026-0107998 June 13, 2026
탄소 셸 한정 반응에 의한 탄화규소 분말의 직접 합성 방법, 피복 규소 분말 및탄화규소 분말
10-2026-0107996 June 13, 2026
탄화규소 전계효과 트랜지스터의 게이트 유전체 계면 결함밀도 저감 구조, 이를 포함하는 소자 및 그 형성 방법
10-2026-0107962 June 13, 2026
무계면 비저항 구배를 갖는 일체형 반응결합 탄화규소 소결체, 그 제조방법 및이를 포함하는 플라즈마 처리장치용 부재
10-2026-0107994 June 13, 2026
탄화규소 트렌치 게이트 전계효과 트랜지스터의 측벽 게이트 유전체 계면 패시베이션 구조, 이를 포함하는 소자 및 그형성 방법
10-2026-0107958 June 13, 2026
반응소결 탄화규소 핸들 기반 탄화규소복합 기판, 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 전력반도체 소자 및 전력 모듈
10-2026-0107984 June 13, 2026
일체 성형 가스 분사공을 갖는 일체형탄화규소 샤워헤드 부재, 그 제조방법및 이를 포함하는 플라즈마 처리장치
10-2026-0107987 June 13, 2026
일체형 탄화규소 핫월 부재를 구비한 플라즈마 처리장치, 핫월 부재 및 그 운전방법
10-2026-0107993 June 13, 2026
탄화규소 전계효과 트랜지스터의 불소함유 리저버를 이용한 게이트 유전체 계면 패시베이션 구조, 이를 포함하는 소자 및 그 형성 방법
10-2026-0107960 June 13, 2026
내재 질소 리저버와 서브밴드갭 국부 광열 및 급랭 동결을 이용한 탄화규소 계면의 비평형 질화 패시베이션 방법 및그에 의하여 처리된 반도체 구조물
10-2026-0105045 June 9, 2026
탄화규소 및 질화갈륨 전력 반도체의 매립 계면을 전극 금속 자기정렬 흡수체로국부 광열하고 계면 내재 리저버를 급랭동결하여 패시베이션하는 방법 및 전력반도체 소자
10-2026-0105052 June 9, 2026
내재 산소 리저버와 서브밴드갭 국부 광열 및 급랭 동결을 이용한 탄화규소 게이트 산화막의 저열예산 형성·치밀화 방법 및 그에 의하여 처리된 반도체 구조물
10-2026-0105040 June 9, 2026
수소 또는 중수소 리저버와 서브밴드갭국부 광열을 이용한 탄화규소 계면의 보조 패시베이션 방법 및 그에 의하여 처리된 소자
10-2026-0105032 June 9, 2026
영역별 차등 조성에 의해 비저항이 사양맞춤형으로 설계된 반응소결 탄화규소챔버 소모성 부품 및 그 제조방법
10-2026-0102936 June 6, 2026
PEIE 분산 솔리드 반응소결 탄화규소 부품 및 그 제조방법
10-2026-0102938 June 6, 2026
솔리드 반응소결 탄화규소 블록의 다중슬라이싱에 의한 플라즈마 식각용 환형부품 제조방법 및 그 부품
10-2026-0102937 June 6, 2026
비저항 튜닝 및 RF 자기-정합 기능을 갖는 솔리드 반응소결 탄화규소 플라즈마식각 챔버 부품 및 그 부품을 포함하는플라즈마 식각 챔버
10-2026-0102935 June 6, 2026
PEIE 유래 카본 미세구조에 의한 열전도최적화 및 정전기 척 열 결합 인터페이스를 갖는 솔리드 반응소결 탄화규소 플라즈마 식각 챔버 부품
10-2026-0102934 June 6, 2026
잔류 실리콘 융점 미만의 열이력으로 후전사된 반응소결탄화규소 방열·전류확산 지지체 일체형 수직형 탄화규소 전력반도체 복합기판 및 그 제조방법
10-2026-0102932 June 6, 2026
장수명화된 솔리드 반응소결 탄화규소플라즈마 식각 챔버 부품, 그 수명 평가방법 및 표면 보호 구조
10-2026-0102931 June 6, 2026
산화갈륨계 전력반도체의 선택 광열 어닐링 방법, 이에 의해 제조된 전력반도체 소자 및 적층체
10-2026-0102961 June 6, 2026